Couches minces

Ce résumé de cours sur les couches minces, que j’ai dispensé aux étudiants de Master Matériaux Métalliques et Matériaux Semi-conducteurs (département de physique, faculté des sciences U. Batna) durant les années universitaires 2014/2015 et 2015/2016, peut être utilisé aussi par les étudiants de Master en Microélectronique et d’autres étudiants dont la formation fait appel à des notions de base sur les couches minces.

Le cours est constitué de 3 parties : la 1ère partie porte sur des notions de base alors que la deuxième partie donne un aperçu sur les techniques d’élaboration des couches minces. La 3ème et dernière partie donne un bref survol sur quelques aspects pratiques tels que le choix des substrats et les procédés de nettoyage et deux exemples d’application des couches minces à la réalisation des dispositifs électroniques (résistance intégrée et cellule solaire).

Une dizaine d’exercices, avec solution, sont proposés aux étudiants pour s’entrainer à utiliser les notions abordées dans le cours.

N.B. : L’étudiant voulant avoir plus de détails, peut consulter les ouvrages ou les sites données dans la bibliographie. En cas de difficulté, n’hésitez pas de me contacter par e-mail ou par téléphone.

01 Couches minces Notions de base7.68 MB
02 Couches minces Techniques d'élaboration3.67 MB
03 Couches minces Aspects pratiques1.03 MB
TD4.22 MB
Correction TD5.3 MB