Ce résumé de cours est destiné aux étudiants Master 1, 2^ème semestre (S2), en microélectronique. Il présente les techniques de caractérisation de base utilisés pour accéder aux propriétés électriques, optiques et physicochimiques des matériaux et composants électroniques.

La 1^ère partie, relative à la caractérisation électrique, présente les techniques basées sur la sonde quatre pointes, effet Hall, Van der pauw , résistance de constriction, I(V), C(V) etc.

La 2^ème partie, relative à la caractérisation optique et physicochimique, présente les techniques basées sur la microscopie optique, les mesures de réflectance et de transmittance dans le domaine UV-VIS, les mesures éllipsométriques, diffraction des RX, MEB, SIMS, Microsonde, Auger, etc.

N.B. : L’étudiant voulant avoir plus de détails, peut consulter les ouvrages ou les sites données dans la bibliographie. En cas de difficulté, n’hésitez pas de me contacter par e-mail ou par téléphone.